半導體制造,DNS清洗機是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思
DNS是廠商名字,中文叫迪恩士,就是化學清洗槽(也叫酸槽/化學槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸堿液體按一定比例配置,目的是為了去除雜質,去離子,去原子,最后還有DI清洗。IPA是異丙醇,就是工業酒精,是用來clean機臺或parts的,是為了減少partical的。
DNS是廠商名字,中文叫迪恩士,12寸里它為主流設備,其主要主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸堿液體按一定比例配置,目的是為了去除雜質,去離子,去原子,最后還有DI清洗。IPA是異丙醇,用于干燥,其干燥槽叫做LPD,為其專利,全名為LOW PRESSURE DRY,低壓干燥
生長素類似物IPA表示什么物質
是異戊烯基腺苷,是細胞分裂素的一種,但為啥叫生長素類似物,我也納悶
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