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半導體制造,DNS清洗機是做什么的使用哪些液另外IPA在清洗工序中是什么意思

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DNS是廠商名字,中文叫迪恩士,就是化學清洗槽(也叫絕攜酸槽/化學槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸堿液體按一定比例乎胡配置,目的是為了去除雜質,去離子,去原子,最后還有DI清洗。IPA是異丙醇,就是工業并頃伏酒精,是用來clean機臺或parts的,是為了減少partical的。

DNS是廠商名字,中文叫迪恩士,12寸里它為主流設備,其主要主轎滲擾要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸堿液體按喊帶一定比例配置,閉旦目的是為了去除雜質,去離子,去原子,最后還有DI清洗。IPA是異丙醇,用于干燥,其干燥槽叫做LPD,為其專利,全名為LOW PRESSURE DRY,低壓干燥

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